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HgCdTe液相外延材料组分分布的红外透射光谱评价技术.pdf
第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２９ ３ 犞狅犾．２９ 犖狅．３ 年 月 ， ２００８ ３ 犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犕犪狉．２００８ 犎犆犱犜犲液相外延材料组分分布的红外 犵 透射光谱评价技术 顾仁杰 张传杰 杨建荣 陈新强 魏彦峰 （中国科学院上海技术物理研究所 材料器件研究中心，上海 ２０００８３） 摘要：对红外透射光谱法测定 液相外延材料纵向组分分布技术进行了深入的研究 红外透射光谱的理论计算采 犎 犆犱犜犲 ． 犵 用了王庆学提出的组分分布模型，并考虑了光穿越组分梯度区时产生的干涉效应 通过测量同一样品在不同外延层厚度下 ． 的一组红外透射光谱，该方法的有效性得到了实验验证 进一步对组分模型中参数（即外延总厚度、组分互扩散区厚度、材 ． 料表面组分和 层组分梯度）的拟合方法进行了讨论，并确定了各拟合参数的拟合精度 结果显示，该方法可作为测 犎 犆犱犜犲 ． 犵 定 犎 犆犱犜犲液相外延材料组分特性的一种有效的测试评价技术． 犵 关键词： ； ；红外透射光谱；纵向组分梯度 犎 犆犱犜犲 犔犘犈 犵 ： ； ； 犘犃犆犆 ５２７０犓 ７２８０犈 ７３６０犉 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 犜犖０４ 犃 ０２５３４１７７２００８０３０５３４０５ ［，］ ７８ 传递矩阵计算方法 完成了对犎 犆犱犜犲外延薄膜的透 犵 引言 射光谱的理论计算 红外透射光谱法的优点是它直接反 １ ． 映了材料的光吸收特性，与器件的光响应特性有着直接 经过 年的发展， 红外焦平面材料
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