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第17卷第11期 电子设计工程 2009年11月 V01．17No．1l Electronic NOV．2009 DesignEngineering 基于嵌入式Linux的晶体生长控径系统的研究 李学敏．程光伟 (西安工业大学电子信息工程学院。陕西西安710032) 摘要：针对直径检测反控制技术向大直径化硅棒发展的需求，设计一种低成本，功能适中的晶体生长控径系统。该 系统以ARM9系列的$3C2440为核心。基于Linux嵌入式操作系统设计一种图像处理方法。根据亚像素原理计算出 硅棒直径，并为上位机提供具有特定电平的模拟信号，从而控制直拉单晶硅生长速度。使系统实现测量数据可读 化。实验表明，该系统能够很好地解决图像处理问题。图像处理的准确率满足直径检测系统的要求，且实现简单．成 本较低。特别适合于对精度要求较严格的检测系统。 关键词：嵌入式Linux；S3C2440；图像处理；亚像素 中图分类号：TN914 文献标识码：A 文件编号：1674-6236(2009)1l邶15-02 Researchonsilicon diameter basedon growth controllingsystem embeddedLinux LIXue—rain，CHENGGuang-wei (SchoolofElectronicEngineering，Xi’嘶TechnologicalUnivers毋。Xi’∞710032，chi触) Information atthe ofdiameter and tothe and silicon Abstract：Aimingtechnologies detectingcontrollingdevelopmentbiggerbigger diameterofreal—timeneed alowcostandmoderatefunctiondiameter controlling nowadays．thispaperdesigns system：for silicon ofARM9seriesisused鼬thecoreinthis an methodbasedonLin- grower．S3C2440 system．andimageprocessing uxembedded is diameterbased0nthe of iscalcuhted．Provid— theory operatingsystemdesigned，besides。silicon sub-pixel the tothe mgkesmeasureddata from and the machine，it ing analogvoltage controlling readabilitymeasuringcontrolling ofezochralskisilicon．The indicatesthatthe resolvesthe wellin growt