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芯片制备用超纯水设备技术解析 一、芯片超纯水设备概述 芯片是现代电子高科技发展的产物，随着经济的飞速发展， 芯片将广泛应用于各个领域中。超纯水设备是清洗芯片必不可少 的设备。超纯水设备是将离子交换树脂充夹在阴/阳离子交换膜 之间形成EDI 单元。 一定数量的EDI 单元间被网状物隔开，形成浓水室。在单元 组两端设置阴/阳电极，在直流电的推动下，通过淡水室水流中 的阴阳离子分别在淡水室中去除穿过离子交换膜进入到浓水室， 通过浓水室的水将离子带出系统，成为浓水的设备。 二、芯片超纯水设备工艺流程 1、机械过滤器 它是利用石英沙作为过滤介质，在一定的压力下把浊度较高 的水通过一定厚度的粒状或非粒的石英砂过滤，有效的截留除去 水中的悬浮物、有机物、胶质颗粒、微生物、氯、嗅味及部分重 金属离子等，最终达到降低水浊度、净化水质效果的一种高效过 滤设备。 2、活性炭过滤器 活性炭过滤器的作用主要是去除大分子有机物、铁氧化物、 余氯。这是因为有机物、余氯、铁氧化物易使离子交换树脂中毒， 而余氯、阳离子表面活性剂等不但会使树脂中毒，还会破坏膜结 构，使反渗透膜失效。 3、钠离子交换器 自然生水，地下井水，含有大量的由钙(Ca+)和镁(Mg+)离子 形成的盐类。经过钠离子交换器可以去除绝大部分钙(Ca+)和镁 (Mg+)离子，从而使水软化，保护滤芯反渗透膜。 4、精密过滤器 主要用在多介质预处理过滤之后，反渗透、超滤等膜过滤设 备之前。用来滤除经多介质过滤后的细小物质(例如微小的石英 沙，活性炭颗粒等)，以确保水质过滤精度及保护膜过滤元件不 受大颗粒物质的损坏。 5、反渗透膜 原理是在高于溶液渗透压的作用下，依据其他物质不能透过 半透膜而将这些物质和水分离开来。反渗透膜的膜孔径非常小， 因此能够有效地去除水中的溶解盐类、胶体、微生物、有机物等。 6、EDI 设备 EDI，又称连续电解除盐技术，它科学地将电渗析技术和离 子交换技术融为一体，通过阴、阳离子的选择透过作用以及离子 交换树脂对水中离子的交换作用，在电场的作用下实现水中离子 的定向迁移，从而达到水的深度净化除盐，并通过水电解产生的 氢离子和氢氧根离子对装填树脂进行连续再生。 6、抛光混床 抛光树脂一般用于超纯水处理系统末端，保证系统出水水质 能够维持用水标准。一般出水水质都能达到18 兆欧以上，以及 对TOC、SIO2 都有一定的控制能力。抛光树脂出厂的离子型态都 是H、OH 型，装填后及可使用无需再生。 技术资料由石家庄超纯水设备厂家提供