生产用大型蒸镀设备真空系统的故障与诊断.pdfVIP

维普资讯 2 一 第 3卷第 1期 真空与低温 1997年 3耳 Va∞um ＆ Cryogenics 23 生产用大型蒸镀设备真空系统 的故障与诊断 2；钙 T哆1≮ 坚 (东南大学物理系，南京 210096) (收稿 日期 1996--07--3O) FAULTANDDIAGNoS塔 oF VACUUM SYSTEM oF LARGEEVAPoRATIONEQUIPM[ENT WBngMaoxiaag W ⅡZ∞ghu (Physi~~Deparlom~t，SoutheastUniversity，Naa~g210096) AbstractBygivInganexampleoftheZZW-H1400Ievaporationequipraentandcombiningthe productivepractlce，theusualfaultanddiagnosisoftheVSCULIII~system oftheequipmentandthesOlv- ingmethodhavebeenpa~ 3arlyintrod ucedni thispaper． Keywords：Evaporationeqtlipment，Vacuum system F·ault，Diagnosis． ，墒 要：以zzw—H1400I大型真空蒸发镀膜设备为倒，结合生产实际．详细介绍了设备真空 系统常见故障与诊断、排除方告。 关键词}Ei缒，理童墨垫 ’芝 馈腹机 采用上海真空泵厂生产的ZZW-H14001大型真空蒸发镀膜设备，在塑料、铆制品、金属等 制品表面进行了装饰膜的规模化生产 几年来 ，该设备运行基本良好，成膜质量较好。但是，同 其它镀膜设备一样，其真空系统经常产生一些故障，直接影响到设备的正常使用。这种生产用 大型设备的故障发生率较实验用小型设备为高，且故障的诊断也较难 。现以ZZW—H14001大 型设备为倒，结合几年来的生产实际，对一些常见的故障给予详细的介绍，并分析了诊断、排除 的方法 1 真空系统的特点 ZZW—H14O0I型高真空装饰镀膜机由上海真空泵厂设计制造 整套设备由真空泵组 ，真 空管道，真空阀门及真空室连接而成，控制部分由电控柜集中控制 ，安全方便。真空室由低碳钢 材料构成，尺寸较大( 400mm×1700ram)，为卧式结构。工件架可遁过工件车方便地进出。 真空阀门由预抽阀，前级阀，高阀组成，均为气动翻板阀。真空测量系统由DL一3热偶规管及 DL一2电离规管遁过真空计分别进行低、高真空的测量，准确可靠。真空抽气系统由两台ZX-70 型旋片式机械泵．一台zJ一1200型机械增压泵 (罗茨泵)及一台KT-600型金属扩散泵组成。机 组配套科学．抽速较快，从 0．1MPa到5×10Pa空载抽气时间不大于 15mln。极限真空可达 5×10 Pa 维普资讯 真空与低温 第 3卷第 1期 2 故障与诊断 扩散泵经过 1～1．5h的预热 ，可以进入工作状态。此时，可以按规定程序对真空室进行抽 气。经过一段时间后，真空度不能达到预定要求，说明真空系统发生了故障。真空系统的故障 无非有以下4个因素：1)真空泵性能达不到顶定要求I2)真空系统存在漏气 (包括真空阀门的 开关不灵)}3)真空系统材料表面的出气；4)真空系统内部存在蒸气源。后两个因素在蒸发镀