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Fe.N薄膜的铁磁共振研究
姚振钰刘志凯江海秦复光张建辉
中国科学院半导体研究所(北京,100084)
朱生传孙允希
北京大学物理系(北京,100871)
摘要一利用离子束辅助沉积法,在Si(100)基片上制备了三种Fe-N薄膜(到达比N/Fe
=0.09,o
和铁磁共振线宽,结合磁性测量、电镜观察等物理手段的实验结果,进行综合分析.
1.引言
要的理论意义和实用意义【1·3]. 我们发表过一系列关于利用离子柬辅助沉积法合成的
Fe_N薄膜的结构和磁性的研究文章[4—6].本文着重介绍Fe—N薄膜的铁磁共振研究的实验
结果和综合分析.
和铁磁共振线宽,结合磁性测量、电镜观察等物理手段的实验结果,进行分析研究.
2.测量原理
对于Fel6N2单晶薄膜【2—3】,三个易轴的铁磁共振关系式为[7]
[001]:∞/丫=H,+Hkl-4riM。
L [100]:(o/v)22(Hr+Hka)(Hr‘Hkl+4ⅡMs)
【llO】:(o/y)2=(Hf—H凶(H,.Hkl+4riMs一0.5Hu)
其中,∞为微波圆频率,Y为旋磁比,H,为共振磁场,Hkl为单轴各向异性场,Hk2为
平面各向异性场,M。为饱和磁化强度.由这三个关系式,可以确定g因子、Hk2和mkl.
4AM。),再确定Hkl(已知4rcM,)或4riM。(已知Hkl).
对于Fe-N多晶薄膜,在外磁场平行膜面情况下,铁磁共振关系式为:
(∞伪2_HAH,+4“Ms)
利用上式,在两个微波频率情况下,可以同时确定g因子和4riM,:在一个频率情况下
已知g因子,可以确定4ⅡM。.
鹤
3.实验
o.12,O.t5).通过俄歇电子能诺仪和x射线衍射仪分析薄膜成分和结构,振动样品磁强计测
量磁学性质,铁磁共振确定饱和磁化强度和铁磁共振线宽,电子显微镜观察表面结构和电
4.实验结果和分析
在X波段和TEt02矩形腔进行铁磁共振测量,实验结果如表1所示.磁性测量的实验
结果如表2所示.
现在对实验结果做一些说明和分析:
根据我们的实验情况,外磁场不大于10
和存在另相来解释.
Oe:而
FNl和FN3样品的线宽(531Oe,664
Oe)却大得多.除了样品成分不同外,气孔和杂质
具有较多的气孔和杂质.
(4)三种Fe-N薄膜的饱和磁化强度,由铁磁共振测量得到的数值比由振动样品磁强计
的要小. 原因是使用的微波频率较低,相应的外磁场不足以样品饱和(见表1.2).考虑
未饱和因素进行修正,可以得到相近的结果.
表1 铁磁共振测量实验结果
+g=2.0
表2磁化曲线实验结果(室温)
5.结论
构分析仪器和振动磁强计的测试结果,进行综合分析,理论与实验相当一致.为了用铁磁
共振法测得准确的饱和磁化强度,必须提高微波频率(例如毫米波段).
6.感谢
振实验室、电镜实验室的帮助,表示衷心感谢.
参考文献
et
【1】T.K.Kima1.,Appl.Phys.Lett.,20(1972)492.
et
[2]H.Takahashia1.,J.Appl.PhyS.,73(10)6060.
et
a1.,J
【3】Y.su百ta appl.Phys.,79(1996)5576.
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【4]HJianga1.,Acta.MetallurgicaSinica,30(1994)B273
et
[5】H.Jianga1.,J.Appl.Phys.,78(1995)32
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