GB/T 26533-2011俄歇电子能谱分析方法通则.pdf

ICS 37．020：17．180 N33 囝目 中华人民共和国国家标准 26533--201 I GB／T 俄歇电子能谱分析方法通则 General rulesfor electron Auger spectroscopicanalysis 201 1-05-12发布 宰瞀鹃鬻瓣警麟瞥星发布中国国家标准化管理委员会厘111 26533--2011 GB／T 目 次 前言…………………………………·……………………………………………………………………一Ⅲ 2规范性引用文件…………………………···…····…………………………………·…………………·1 3术语和定义………………………………………………………………………………………………1 4方法原理………·………………………………………····……………………………………………．1 5．1仪器组成……………………………·……………………………………………………………--2 5．2仪器性能…·…………………………………………··…····……………………………………．．3 7分析步骤……………·……·····……··…·…………·…………………………………………………～4 7．1能量标尺校正…………………………·…………·………………………………………………·4 7．2 AES定性分析及操作步骤…………………………………………………………………………6 7．3俄歇电子能谱的定量分析……·…………………………………………………………………一6 7．4深度剖析………………………………·…………········…………………………………………7 7．5元素化学态分析…·····………··…………………………………………………………·………·7 8分析结果的表述………………………·…··……………………………………………………………7 8．1俄歇全谱…………………………………………………··········…···…………………………．．7 8．2窄谱…·……………………………………………………………………………………………“7 8．3线扫描谱……………………………·……········……···……·…………···……………………--7 8．4深度剖析谱……………………………………………………··…·……………····……···……··7 8．5多点显微对比分析…………………………………………………………………………………8 8．6样品表面元素分布图(Augermap)…·…………………………………………………………一8 8．7分析结果表述方式…………………………………………………………………………………8 图1KL。乙3俄歇跃迁…………·…………………………………………………………… 2 图2俄歇电子能谱简图……………………………………………………………………· 2 图3Cu、Au和Al三个参考物质的直接谱和微分谱(相对能量分辨率0．3％)………· 5 表1参考物质的俄歇电子动能参考值 26533--2011