磁控溅射镀膜中工艺气体流量的调整.pdfVIP

8 中 国玻 璃 2009年第2期 磁控溅射镀膜 中工艺气体流量的调整 王秀丽 郭明 洛玻集团洛阳新晶润工程玻璃有限公司 河南 洛阳 471003 摘要：本文通过镀膜室工艺气体流量的大小对镀膜玻璃膜层理化性能、生产效率的试验和理论 分析，证明可以用非常简单的方法提高镀膜玻璃的耐研磨、耐酸碱等理化性能和生产效率。 关键词 ：工艺气体 流量 性能 镀膜玻璃 使生产工艺更稳定，恒流量控制系统使生产工艺更 1前言 灵活，生产 出的镀膜玻璃颜色更丰富。本文通过实 工艺气体是镀膜玻璃生产工艺中最重要的控制 验和对镀膜工艺理论的理解 ，将工艺气体流量在磁 对象之一，不同厂家和不同时期制造的设备，有着不 控溅射镀膜玻璃生产工艺中的重要性，进行简要分 同的控制方式。工艺气体控制分为恒压力控制和恒 析。 流量控制两种方式。目前国内有近 300条离线磁控 镀膜玻璃生产线，其中进 口生产线40多条，国产生 2 工艺气体流量的大小对镀膜玻璃 产线200多条。原美国爱柯公司早期的生产线，都采 性能的影响 用恒压力控制系统，而 1995年以后的生产线则采用 恒压力和恒流量两套控制系统，用户可以根据工艺 2．1工艺气体恒流量控制系统 (见图1) 需要和偏好 自己选择；原德国莱宝的生产线则一直 采用恒流量控制系统；国产镀膜生产线采用两种控 制系统的界限不明显，有的生产线只有两个工艺室， 第一个室的工艺气体用恒压力控制系统，第二个室 的工艺气体却用恒流量控制系统。两种工艺气体控 制系统都能满足镀膜玻璃生产工艺的要求，在实际 生产应用过程中，大家普遍反映恒压力控制系统能 图 1 恒流量控制系统 图 2 恒 压 力 控 制 系 统 2009年第2期 9 中 国玻 璃 (1)流量给定：根据生产工艺需要，通过计算机 2．4工艺气体流量大小对膜层理化性能的影响 或电位计调节工艺气体流量设定值。 (2)气体流量质量控制器：根据设定值调节气体 镀膜玻璃膜层理化性能主要为耐研磨性能和耐 阀门开启的大小，并将实际流量在控制面板或计算 酸、耐碱性能，试验均按照镀膜玻璃国家标准 GB／T 机上显示出来。 18915．1—2002的要求进行，结果如表 1所示。 (3)气体阀门：根据给定电压精确执行开启的大 表 1 工艺气体流量与膜层理化性能的关系 小，控制工艺气体流量 。 工艺气体流量 研磨前后可见光 酸浸泡前后可见光 碱浸泡前后可见光 (ml／min) 透过率变化量(％) 透过率变化量(％1 透过率变化量(％) 2．2工艺气体恒压力控制系统(见图2) 300 0