固体薄膜再充电锂电池的进展.pdfVIP

维普资讯 ·42 · 材料旱报 1997年 10月第 11卷第 5期 固体薄膜再充电锂电池的进展 RecentDevelopmentin RechargeableSolidState m Lithium Bat垤 ) 王 波 王…承遇 陶陶 瑛 (大连轻工业学院玻璃及无机新材料研 究所 ．大连 11 Dr1 摘要 讨论 了固体 薄膜 再充 电俚 电池的制造 、特 性和应 甩的近 皂 葶警词 旦 要至皇堡 丝 堡皇王苎 中I A bstract TThhiss9aperddiissccuussseessssoommeerrecennrtddeevelopi~ent 9 rionandapplications。frechargeablesolidstatethin—film lithium batteries． Key words solidstarethin—film．1ithium rechargeablebatleries，microelectronicchips 中锂硼硅酸盐系统 的电导率最高 ，室温下大约是 1 引言 10一s／cm。这样对 lbtm厚和 lcm 的薄膜 ，其 电阻只 由固体薄膜 阳极、电解质及阴极组成的再充电 有 1∞n。因此这种薄膜可用作固体薄膜锂电池的电 锂电池，在微电子工业中具有很好的应用前景。由于 解质材料 。 锂 电池具有 3V 左右的还 原电势及低 当量 ，周此 固 OakRidge国家实验室用阴极溅射沉积法制备 体薄膜再充电锂 电池具有高电压及高能量密度 。固 了具有高锂离于电导的锂磷酸氟氧化薄膜 口～ 。这 种薄膜的锂离于电导率在室温下约为 10～s／cm，并 其制造方法与微电于元件的制造方法类似 ，固体薄 且 在和金属锂接触下很稳定。薄膜 的制备是用 膜锂 电池可直接制造在电于苍片上作备用 电源 。选 Li。P0 作靶 ，然后在 N 的气氛下进行溅射沉积成 择适当的电池材料 ，这种电池可具有与半导体 电子 薄膜 在溅射过程中，氟结合进入锂磷酸盐结构。用 芯片相当或更好的耐用性能。本文阐述固体薄膜再 高性能液相 色谱 (HPLC)和 XPS对薄膜 的测试表 充电锂 电池的制备、测试及应用的必威体育精装版进展 。 明，氮联结 了各种磷 酸集 团，形成 了 P—N—P或 2 电池薄膜材料及其制备 P P— N 的氮氧磷酸盐结构 ]，因此 ，网络结构的 P 2．1 阳极 联接性得到 了提高(类似于 “混合形成体”效应)，而 固体薄膜锂 电池 的 阳极 是金属薄膜锂 。在 增加了锂离子 的电导