传感器技术实用教程教学配套课件 吕勇军 第4章 位移与速度测量传感器.pdfVIP

实用传感器技术教程 1 2013-6-17 第4章 位移与速度测量传感器 4.1 电感式位移传感器 4.2 电涡流式传感器 4.3 电容式位移传感器 4.5 光栅传感器 4.4 霍尔传感器 4.6 微波传感器 4.7 超声波传感器 4.8 位移检测传感器性 能比较 2 无论是科学研究还是生产实践中，需要进行位 移测量的场合非常多。此外，还有许多被测物 理量可以转化为位移进行测量，如压力、位置 等都可以通过某种转换部件，先将它们转换为 直线位移，然后通过测量位移间接得到被测 量。在不同的场合、不同的应用领域，对位移 测量传感器的要求差异也很大，比如测量范 围、测量精度、动态响应等。因此，位移测量 传感器的种类也是相当多，并且各自的特性也 不相同。 3 4.1 电感式位移传感器 电感式传感器是基于电磁感应原理，将输入量转换成 电感变化量的一种装置。常配以不同的敏感元件用来测量 位移、压力、振动等物理参数。 4 4.1 电感式位移传感器 4.1.1 电感位移传感器原理与分类 线圈 线圈 衔铁 铁芯   衔铁 (a) (b) (c) 图4-1 电感式传感器的结构原理 5 气隙型传感器的结构原理图   自感L与气隙 δ成反比，而与气隙导磁截面积A 成正比。 W——线圈匝数， μ——空气磁导率。 0 6 4.1.1 电感位移传感器原理与分类  差动变隙式电感传感器的原理 结构 初态时：若结构对称，且动铁居 中，则δ = δ，U =0。 1 2 0  动铁上移时：则 1  δ ↓→L ↑→I ↓=I - ΔI