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 低温等离子体物理化学基础及其应用 (七 ) 印 染 ( 2005 No. 17) 讲   座 ( ) 低温等离子体物理化学基础及其应用 七 裴晋昌 (上海市纺织科学研究院 ,上海  200082) 关键词 : 染整 ; 等离子体 ; 低温 ; 物理化学 ; 应用 中图分类号 : TS1906   文献标识码 : A    文章编号 : 1000 - 40 17 (2005) 17 - 004 1 - 05 [ 42 ] 再降低 V ,则慢电子也能抵达探针 ,故电流向反方向继续 5 等离子体的诊断方法 p 增加很快 。当 V = V 时 , 即探针电压与所处空间电压相同 ,正 应用低温等离子体作为一种技术手段 , 必须对其进行诊 p s 离子鞘消失 ,全部 电子都能到达探针 。此后 V 高于其周围的 断 ,即了解各类活性粒子的浓度和能量水平 。一般采用吸收光 p ( 谱法 ,可以测出等离子体中的分子或原子密度 ,或者用红外二 电位 , 电流达到饱和 ,而且在探针周围形成电子鞘 比正离子鞘 ) ( ) ( 薄 。 极管激光吸收光谱 IRLA S 方法测出等离子体中的自由基 如 当 V 反向增加而比正极的电压高很多时 ,探针周围的气 ) p CH ·密度 。通常比较简单的方法是用电子探针方法进行诊 3 断 。笔者主要列举以辉光放电方式产生的等离子体 ,采用电子 体也被电离 ,故电流增

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