闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在切削刀具上的应用.pdfVIP

02 　西安理工大学学报 J ournal of Xi ’an U niver sit y of Technology (2006) Vol . 22 No . 1 　 　　文章编号 : 100647 10 (2006) 0 1002004 闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术 在切削刀具上的应用 白力静 , 李玉庆 , 肖继明 , 蒋百灵 (西安理工大学 材料科学与工程学院 ,机械制造与精密仪器学院 ,陕西 西安 7 10048) 摘要 : 闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制膜时镀层设计不受元素化合价及相图的限制 ,工艺控 制简单 ,可以方便地设计镀层的成分和结构 ,且膜/ 基结合性能突出。研究了用该技术制备的硬质 Cr TiAlN 梯度膜 ,该膜具有良好的结合力和韧性 ,在无润滑切削条件下 ,适用不同的切削方式 :对 于普通高速钢钻头提高寿命数十倍 , 同时扩展工件材料至高强度钢 ;对断续式的铣削黄铜 ,可提高 寿命 25 倍 ;对于加工 PV C 板的微钻 ,寿命仍可提高 4 倍以上 。 关键词 : 闭合场非平衡磁控溅射 ; 刀具 ; 镀层设计 ; 结合强度 中图分类号 : T H 117 . 3 　　　文献标识码 : A Closed Fiel d Unbalanced Magnetron Sputter Iron Plating Technique and it ’s Appl ication to Cutting Tool s BA I Lij ing , L I Yuqing , XIA O J Imin g , J IAN G Bailin g ( Facult y of Mat erial Science and Engineering , Facult y of Mechanical and Preci sion In st rument Engineering , Xi ’an U niver sit y of Technolo gy ,Xi ’an 7 10048 ,China) Abstract : The clo sed filed unbalanced magnet ron sp ut t er iron p lating t echnique i s an advanced PVD t echnique w hich i s charact erized by flexible coating de sign an d simp le dep o sition p roce ss cont rol ,i . e . coating de sign i s not limit ed by element valence and p ha se diagram , so t he co mpo nent s and st ruct ure of coating can be convenient ly de signed . A nd t he adhe sion bet ween coatin g and sub st rat e i s favorable . Cr TiAlN har d gradient coating depo sit ed by t hi s t echnique i s st udied . Thi s coating ha s excellent cut ting p erfor mance in diff erent service con ditio n s wit ho ut lubricatio n due to t he well adhe sion and toughne ss. During t he continue s dril