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2007 年 仪 表 技 术 与 传 感 器 2007 第 5 期 Instrument Technique and Sensor No5 陶瓷电容式智能压力变送器 李 鹏1 ,2 ,李民强1 (1. 中国科学院合肥智能机械研究所 ,安徽合肥 230031 2. 中国科学技术大学 ,安徽合肥 230027) ( 摘要 :设计了一种基于 MSP430F447 的智能型陶瓷电容式压力变送器 ,给出了其信号获取装置 双电容陶瓷压力传感 ) 器 的制备原理 、信号调理电路的设计以及单片机软件程序设计 。其中 ,软件程序主要解决了非线性补偿和温度补偿问 题 ,提高了系统测量精度 。实验结果表明:研制的变送器线性误差小于 042 % ,迟滞误差小于 048 % ,零点温漂系数低于 24 ×10 - 4 mA/ ℃. 关键词 :陶瓷电容 ;智能 ;压力变送器 ( ) 中图分类号 :TP212 文章标识码 :A 文章编号 :1002 - 1841 2007 05 - 0003 - 02 Intelligent Cera mic Capacity Pressure Transducer LI Peng1 ,2 ,LI Minqiang1 ( 1. Institute of Intelligent Machines , Chinese Academy of Sciences , Hefei 230031 , China ; 2. University of Science and Technology of China , Hefei 230027 , China) Abstract :The intelligent pressure transmitter based on dualcapacity ceramic pressure sensor and MSP430F447 was designed. The basic principle ,fabric design ,manufacturing technique and performance test of dualcapacity pressuresensitive component were described in detail . Experimental results indicate that the sensor has many merits such as :the nonlinearity error and hysteresis error are within 042 % and 048 % ,the coefficient of temperature drift is under 24 ×10 - 4mA/ ℃. Key words :ceramic capacity ;intelligent ;pressure transducer 1 系统硬件结构和原理 上设置圆形的单电极作为公共电极
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