真空阀门及其实际应用.pdfVIP

维普资讯 真 空 阀 门 及 其 实 际 应 用 亚 当和约基施 (西德雷暴 岱司) 赛 际上，任何真空仅器与设备不配用合适的阀门是不可想象的，或者说得更确切些 ，在 实 际应用由，戈量使 垌着品种繁多的阀门。拳文概述 了标准阀门与专用阀门，包括这些 阀门 的简介 、性能与应恫眈明。 一 、 一 般介绍 如同其它真空元件一样，阀门必须满足一定的专 门要求，这一点是与其它工业工程部 门 使用的阀门不相 同的。由于这个原因，在iI~-11程 中，只有很少几种 “通用性”阀门 (如球 阀、膜片阀)得到使用 t．1真空的专 门要求 真空阀门的要求如下： (1)所有阀门零件具有较低的放气率。 (2)阀门操作机构、阀壅 (当阀关闭时)及其接头 (通常是标准 的真空祛兰接头)具 有较低的漏气率 。陈少数情况例外，典型的总漏气率小于10 毫巴升1秒 。、这就说 明，在 粗 真空、精真空与高真空压强范围内可使用标准阀门与专用阀门 (见下文)，适用于超高真空 的阀门必须满足更严格的要求。这一点下文中会有介绍。 (3)具有较低 的气体传送漏率。由于结构欠佳 ， (尤其是阀门操作机构，侧如用橡胶 对大气进行密封的轴)会 l起漏气。橡胶垫圈可能会放气而枵染真空系统。工作区间必须与 阀门的实际真空部分分离开来，这一点很重要，通常是用波纹管来实现 的。 (4)具有承受高压差的能力 (1巴或更高)。 (5)在 “阀门打开”位置具有高流导。这一点很重要，并不是在所有情况下都窑易实 现的。生产厂家产品样本中所示的流导数值是指分子流范围 (恒定值 ，与压强无关)，圈 1 (a)所示是鲴量数值。层流范围的流导 (率)要高得多 (高一个或两个数量级，视压强 而 定，见图 1 (b)) 。测量数值与理论数值的比较 (通常是简单的几何形状)并不具有重 要 意义，因为在通路之中设有不同内部结构和机械障碍，致使在许多阀门之中形成了很复杂的 气流形式 ． · 27- 维普资讯 } 2 ； m ， f ； 一 l 囤l (a) 甩于刹量 真空 阀流 导的示统。 1． 真空泵 2． 用于弼t压强的转换阉门 3 曼恻试的直角阗 4 ． 流量计 5． 什量 闻 6． 真空规臂 7． 旁通阔 (b)对手动操作的直角闷DN25所测得的流导 (曲线 3)与 “同 等”弯头 (曲线1)和计算值 (曲线 2)的比较 。拳由续 匿 仅甩于表示在不同压强范围的流导存在较大偏差。 1．2翼空一门的分类 真空工艺和工程 中使用着品种繁多的阀¨．故其分类也是十分困难的。分类的主要方法 有：结构类型 (直角阀、直通阀)、操作方式 (见下文)或主要功能 (隔离 阀、可变 漏 气 阔、放气阀，安全阔等) 因此，本文并不严格遵守任何方式，而是不同程度地按照实际应 用情 况来 区分 “标准阀” (也就是象直角阔、直通阀之类 的最常用的阀)与 “专用阕” 专 用阀虽然在实用中容募被接受，但通常是不使用的，专用阀在许多特 殊 场 合 下 是很