采用TracePro进行中红外气体检测系统的光路结构设计 推荐.pdfVIP

第 39卷 　第 11期 　 　 　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Vol. 39,No. 11 　 2009年 11月 　 　 　　　　　　　　　　　　LA SER 　　IN FRARED Novem ber, 2009 　　文章编号 : 100 15078 (2009) ·光学材料器件与薄膜 · 采用 TracePro进行中红外气体检测系统的光路结构设计 安宇鹏 ,王一丁 ,李 　黎 ,曹 　峰 ,宋振宇 ,张 　宇 (吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区 ,吉林大学电子科学与工程学院 ,吉林 长春 130012) μ 摘 　要 :大多数气体分子在 3 ～5 m 的中红外区都有基本振动吸收谱带 ,采用中红外半导体 光电子器件进行气体浓度的检测 ,具有灵敏度高 、准确性好 ,稳定 、可靠等优点 。TracePro 软件 是一套普遍用于杂散光分析 、照明系统分析以及光学系统分析的光线设计和仿真软件 。采用 TracePro软件设计了一个用于中红外气体检测系统的反射式双光程结构 ,并采用 TracePro 软 件对光学设计进行了仿真与分析 。通过 TracePro 的分析检查出设计中存在的缺陷与不足 ,对 设计进行调整与修改 ,得到最优化的光学结构 。 关键词 : 中红外 ;气体检测 ; TracePro;光学设计 中图分类号 : TN 2 19　　　文献标识码 : B D esign of the optica l structure of the m idinfrared ga s sen sing sy stem by using the TracePro AN Yu p eng,WAN G Yiding, L I L i, CAO Feng, SON G Zhenyu , ZHAN G Yu ( State Key L aboratory on In tegrated Op toelectron ic s J ilin U n iversity R egion, College of E lectron ic Science Engineering, J ilin U n iversity, Changchun 1300 12 , Ch ina) A b stract:Mo st gas mo lecu les have the fundam ental vibration ab sorb sp ectrum in the m idinfrared region du ring μ 3～5 m. D etecting the ga s concen tration u sing the m idinfrared sem iconductor op toelectron ic devices have more advantage s, such as h igh sen sitivity, h igh accuracy and stab ility etc. The op tical software TracePro is a sim u lation and analysis too l that p erform s stray light analysis, illum ination analysis, and op tical system s analysis. Th is p ap er de sign s a dual p ath structure u sing TracePro for