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ICP点火失败及原因分析.pdf
- 1 - ICP ICP IICCPP点火失败及原因分析 为了故障排查的方便,我把点火失败的原因归结为两大类: ICP ICP 一. 非IICCPP硬件故障 (一) 症状: 1.每次都能点着火,但刚点着,就熄火。★ 2.蠕动泵转动就熄火。★★ 3.维持几分钟后又熄火。★ 4.有丝状放电,但形不成等离子体。★ 如果遇到以上点火不成功的现象,首先要从ICP外围因素入手。 (二)可能的原因及判断: 1. 氩气不纯。 如果是在更换完氩气后,才出现以上现象,一般情况下就是氩气的原因,重新换一瓶 氩气,或将原来剩余的能正常点火的氩气接上再试。★★★ 2. 外置冷却水不纯。 如果几个月或更长时间没有更换冷却水,建议更换冷却水,水的纯度越高越好。★ 3. 稳压电源工作不稳。 可以跳过稳压电源,将ICP电源接在稳压电源输入端测试。★ 4. 进样系统安装不到位。 根据要求重新安装炬管,并检查泵管是否卡好以及雾室内是否有积水。★★ 5. 散热抽风量过大。 根据安装培训时的要求,检查抽风量是否过大。★ 6. 点火参数设置不正常。 检查点火参数是否在正常的范围之内,包括功率,冷却气,辅助气,雾化气,泵速。 如果以上原因都被排除了,接下来就要排查硬件故障。★ ICP ICP 二. IICCPP硬件故障(在已经排除了非硬件原因的前提下) (一) 症状及原因判断: 1.开机就有POWER(电源)报警,引起此故障的原因一般有两个:★ (1)ICP主板与高压箱连接的数据线松动。★ (2)高压箱故障。★★ A.对于PROFILEICP,其POWER报警同时又有可能是TEMP(温度)报警,判断的方法 是从113-00113-1接口板上的J1端口的17脚测量TEMP对地电压是否为高电平(5VDC);而 对于PRODIGYICP,TEMP报警在连锁信息里就有显示;如果是TEMP报警,113-00109-1 和113-00108-1都有可能出问题,判断具体是哪块板子的问题,首先测量两块板子上的温度 开关是否断开,如果都没断开,再测量113-00109-1板上的数字地对模拟地的电压,正常值 应该接近0VDC,如果两者之间的悬浮电压过高,就会导致TEMP报警,可能的原因是113- 第 1 页 共 3 页 - 2 - 00109-1板上的D3稳压二极管失效。★★ B.如果开机仅仅是POWER报警,最大的可能是113-00108-1电路板的问题;★ 2.点火时无丝状放电,也没有POWER报警,而且听不到点火模块高压脉冲放电的声音。 ★ (1)点火模块122-00170-1失效。★ (2)点火线上有灰尘且潮湿,导致高压脉冲对仪器金属壳放电。★★ 3.能听到高压脉冲放电的声音,偶尔能点着,但点火很困难,且点着瞬间能听到爆鸣声。 ★ (1)点火线上有灰尘且潮湿,导致高压脉冲对仪器金属壳放电。★ (2)点火模块与点火线连接处或点火线有破损导致对仪器金属壳放电。★★ 4.能听到高压脉冲放电的声音,无丝状放电,也无POWER报警,仪器显示点火失败。★ ★★ (1)灯丝驱动板113-00110-1无输出。★★ A.灯丝驱动板上的场效应管被击穿,同时与灯丝驱动板相连的380VDC线路上的3A保险 也会熔掉。 B.高压调整板113-00108-1上的L3 电感断路。★ C.灯丝控制板113-00115-1坏掉。★ D.380VDC无输出,113-00109-1板上的5A保险熔掉或PFC模块不工作。★ (2)6KV高压无输出。★★ A.高压子板113-00107-1不工作,板上有二极管被击穿。★★ B.高压调整板113-00108-1不工作。★ C.380VDC无输出,113-00109-1板上的15A保险熔掉或PFC模块不工作。★ (3)点火线上有灰尘且潮湿,导致高压脉冲对仪器金属壳放电。★★ (4)大功率管灯丝断路。★ 5.能听到高压脉冲放电的声音,无丝状放电,也无POWER报警,但仪器显示已点火成功。 ★ (1)外置冷却水长久未换,或用10%HCL清洗后,没有将
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