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- 1 - ICP ICP IICCPP点火失败及原因分析 为了故障排查的方便，我把点火失败的原因归结为两大类： ICP ICP 一． 非IICCPP硬件故障 （一） 症状： 1．每次都能点着火，但刚点着，就熄火。★ 2．蠕动泵转动就熄火。★★ 3．维持几分钟后又熄火。★ 4．有丝状放电，但形不成等离子体。★ 如果遇到以上点火不成功的现象，首先要从ICP外围因素入手。 （二）可能的原因及判断： 1． 氩气不纯。 如果是在更换完氩气后，才出现以上现象，一般情况下就是氩气的原因，重新换一瓶 氩气，或将原来剩余的能正常点火的氩气接上再试。★★★ 2． 外置冷却水不纯。 如果几个月或更长时间没有更换冷却水，建议更换冷却水，水的纯度越高越好。★ 3． 稳压电源工作不稳。 可以跳过稳压电源，将ICP电源接在稳压电源输入端测试。★ 4． 进样系统安装不到位。 根据要求重新安装炬管，并检查泵管是否卡好以及雾室内是否有积水。★★ 5． 散热抽风量过大。 根据安装培训时的要求，检查抽风量是否过大。★ 6． 点火参数设置不正常。 检查点火参数是否在正常的范围之内，包括功率，冷却气，辅助气，雾化气，泵速。 如果以上原因都被排除了，接下来就要排查硬件故障。★ ICP ICP 二． IICCPP硬件故障（在已经排除了非硬件原因的前提下） （一） 症状及原因判断： 1．开机就有POWER（电源）报警，引起此故障的原因一般有两个：★ （1）ICP主板与高压箱连接的数据线松动。★ （2）高压箱故障。★★ A．对于PROFILEICP，其POWER报警同时又有可能是TEMP（温度）报警，判断的方法 是从113-00113-1接口板上的J1端口的17脚测量TEMP对地电压是否为高电平(5VDC)；而 对于PRODIGYICP，TEMP报警在连锁信息里就有显示；如果是TEMP报警，113-00109-1 和113-00108-1都有可能出问题，判断具体是哪块板子的问题，首先测量两块板子上的温度 开关是否断开，如果都没断开，再测量113-00109-1板上的数字地对模拟地的电压，正常值 应该接近0VDC，如果两者之间的悬浮电压过高，就会导致TEMP报警，可能的原因是113- 第 1 页 共 3 页 - 2 - 00109-1板上的D3稳压二极管失效。★★ B．如果开机仅仅是POWER报警，最大的可能是113-00108-1电路板的问题；★ 2．点火时无丝状放电，也没有POWER报警，而且听不到点火模块高压脉冲放电的声音。 ★ （1）点火模块122-00170-1失效。★ （2）点火线上有灰尘且潮湿，导致高压脉冲对仪器金属壳放电。★★ 3．能听到高压脉冲放电的声音，偶尔能点着，但点火很困难，且点着瞬间能听到爆鸣声。 ★ （1）点火线上有灰尘且潮湿，导致高压脉冲对仪器金属壳放电。★ （2）点火模块与点火线连接处或点火线有破损导致对仪器金属壳放电。★★ 4．能听到高压脉冲放电的声音，无丝状放电，也无POWER报警，仪器显示点火失败。★ ★★ （1）灯丝驱动板113-00110-1无输出。★★ A．灯丝驱动板上的场效应管被击穿，同时与灯丝驱动板相连的380VDC线路上的3A保险 也会熔掉。 B．高压调整板113-00108-1上的L3 电感断路。★ C．灯丝控制板113-00115-1坏掉。★ D．380VDC无输出，113-00109-1板上的5A保险熔掉或PFC模块不工作。★ （2）6KV高压无输出。★★ A．高压子板113-00107-1不工作，板上有二极管被击穿。★★ B．高压调整板113-00108-1不工作。★ C．380VDC无输出，113-00109-1板上的15A保险熔掉或PFC模块不工作。★ （3）点火线上有灰尘且潮湿，导致高压脉冲对仪器金属壳放电。★★ （4）大功率管灯丝断路。★ 5．能听到高压脉冲放电的声音，无丝状放电，也无POWER报警，但仪器显示已点火成功。 ★ （1）外置冷却水长久未换，或用10%HCL清洗后，没有将