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维普资讯 卫星有效载荷用小型化技术 西安无线电技术研究所 鲁高莲 文摘 为适应世界卫星制造业 “快、好 省 的发展趋势，卫星有效载荷器件小型化、 模 型化采用的几种先进技术，并给出了星上的一 些 … c 壤 小 d．可靠性高，寿命长。MMlC一般不需 外接元件，又清除了内部元件问的人工焊接 ， 当集成度较高时，接点和互连线减少，整机零 MMIC最适宜的频率范围是分米波的高频 部件数能减少年 30倍 以上，所 以可靠性大大 端及毫米波和亚毫米波，它的突出优点是： 提高 (可提高达 100倍)。 a．电路的体积，重量大大减小，成本降 1．2 MMlC的关键技术 低 与现有的微波混合集成电路 (HMIC)比 MMlc是一项综合性很强的技术，涉及到 较，体积可缩小 10～ 100倍，成本可降低 化工、冶金、精密仪器、光学、自动控制和计 5～l0倍 ； 算机技术等各学科领域 归纳起来，其主要关 b．便于批量生产，电性能一致性好 制 键技术包括：GaAs材料制备。包括半绝缘砷 造MMlc是采用半导体批量加工工艺，一旦 化镓大直径单晶 (s．1GaAs)，分子不外延 设计的产品验证后就可以大批量生产；电路在 (MBE)和 金 属 有 机 化 学 汽 相 淀 积 制造过程中不需调整； (MOCVD)；亚微米 (0．1～0．5JI11)光刻技 C．可用频率范围提高，频带成倍加宽 术 (远紫外、电子束或x射线光刻、聚焦离子 由于避免了有源器件管壳封装寄生参量的有害 束FIB)；全离子注入技术、干刻蚀技术、高温 影响．所以电路工作频率和带宽大大提高； 栅技术；计算机辅助设计 (CAD)和计算机辅 的泛黄影响。 但漆膜耐蚀性，机械性能都较优异，这也是 目 前阴极电泳漆的共 同特点，但在施工性能方面 5 结束语 则存有一定差异，反映出CED 的发展趋势； 比较而盲，G，l漆综合性能略占优势。 f ● l 1 1 f 1 ●I 5．1 漆前处理剂：E产品不能满足航天车身 5．3 最后需强调指出的是，为确保漆前处理 涂装质量要求，不予选用；其它产品性能基本 和阴极电泳涂装质量，选择性能价格比高的涂 相当，略有差异，但D产品性能价格比不占优 装材料固然重要，而供应厂商的服务质量也不 势。 容忽视。