半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外收测试方法.docVIP

国家标准《半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法》 （预审稿）编制说明 一、任务来源及计划要求 根据国家标准化管理委员会2012年国家标准制修订计划安排，《半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法》（项目代号T-496）国家标准,由信息产业专用材料质量监督检验中心牵头负责修订，该项国家标准编制周期为2012年至2014年。 二、编制过程（包括编制原则、工作分工、征求意见单位、各阶段工作过程等） 信息产业专用材料质量监督检验中心2012年1月成立了信息产业专用材料质量监督检验中心天津市环欧半导体材料技术有限公司在国内广泛调研信息产业专用材料质量监督检验中心的基础上，于20年月完成了标准稿2013年月日，由全国标准化技术委员会材料分会组织，在酒店召开《》标准会，共有等个单位位代表参加了本次会议。会议就由、共同主要起草的《》标准进行了热烈讨论。参会代表对标准进行了逐条审查，对该标准的技术要点和内容进行了充分的讨论，2013年月，有研光电新材料有限责任公司~2mm厚度试样的解理制样方法； 5）为了获得良好的光谱信噪比，温度为300K时，将仪器分辨率为0.5cm-1或1 cm-1，修改为仪器分辨率1 cm-1 ； 6）单个实验室精密度试验 对厚度为3.87mm，电阻率为2.3×107Ω.cm，双面磨抛的试样，进行了单个实验室精密度试验，获得的单一实验室碳浓度测量精密度为2.14%。 7）多个实验室精密度试验。 对厚度为3.87mm，电阻率为2.3×107Ω.cm，双面磨抛的试样，进行了3个实验室比对测量试验，所获得的多个实验室碳浓度测量精密度为4.17%。 五、与国外同类标准水平的对比分析 本标准达到SEMI M30-0997等国外先进标准水平。 六、与现行法规、标准的关系 对原标准的修订仅涉及技术内容，与现行法规和标准没有冲突。 标准征求意见的处理经过和依据 详见标准意见处理汇总表。 八、作为强制性或推荐性国家标准的建议 本标准可替代GB/T 19199-2003标准，建议作为推荐性国家标准颁布实施。 九、贯彻标准的要求和措施的建议 本标准对“应用范围”和“样品制备要求”等进行了修订，请使用者注意。本标准未涉及专利问题。 信息产业专用材料质量监督检验中心 二O年月 建议按编制说明的固定部分编写，另外详细说明修订内容原因，试验情况 采纳 试验 试验原则上应分试实验、复验，根据多家试验情况来整理试验报告。单个实验室结果只能为重复性。 采纳 7 题目改为“测试环境”，并分条叙述。 采纳 11 精密度部分建议增加再现性的数据。 未采纳，该标准为光学测试方法，增加再现性的数据没有必要。 3 河北工业大学电子信息学院 无意见 4 天津大学 无意见 5 天津半导体技术 研究所 无回函 6 天津市环欧半导体材料技术有限公司 无回函 7 北京通美晶体技术有限公司 无回函 8 中国电子材料行业协会 无回函 9 有研光电新材料有限责任公司 无回函 2