JJG 48-2004硅单晶电阻率标准样片.pdf

中华人民共和国国家计量检定规程 JJG48-2004 硅单晶电阻率标准样片 StandardSliceofSingleCrystalSiliconResistiviyt 2004一09一21发布 2005一03一21实施 国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发布 JJG 48-2004 硅单晶电阻率标准样片 。 . 广 。 、 检定规程 今 . JJG 48-2004 勺 。 心 . 。 . 护 . 令 。 勺 . 代替JJG 48-1990 Verification Regulation of Standard . 伙.‘，.‘，.‘，.‘，.‘，.‘，.‘，.落，.‘，.‘，.‘，.‘，.‘，.‘， Slice of Single Crystal Silicon Resistivity 本规程经国家质量监督检验检疫总局于2004年09月21日批准并自 2005年03月21日施行。 归 口 单 位:全国无线电计量技术委员会 主要起草单位:中国计量科学研究院 参加起草单位:广州半导体材料研究所 本规程委托全国无线电计量技术委员会负责解释 标准分享网 免费下载 JJG 48- 2004 本规程主要起草人: 鲁效明 (中国计量科学研究院) 参加起草人 : 谢鸿波 (广州半导体材料研究所) JJG 48-2004 目 录 1范围·············，············································································……(1) 2 概述··························································································……(1) 3计量性能要求 ·····································