GB/T 22571-2008表面化学分析　X射线光电子能谱仪　能量标尺的校准.pdf

ICS71．040．40 G04 酉亘 中华人民共和国国家标准 2257 1 1 GB／T 1—2008／ISO5472：200 表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准 Surfacechemical analysis--X-rayphotoelectron Calibrationof scales energy (ISO15472：2001，IDT) 2008—12—11发布 丰瞀鹳紫瓣警糌瞥星发布中国国家标准化管理委员会捉19 15472：2001 GB／T22571--2008／1SO 目 次 前言···…·…·…···…···’。‘‘’’’’‘。…’‘‘‘‘‘‘’‘‘‘‘‘‘…·‘。。-·…······‘’’’’‘‘…’‘‘…‘‘。…‘‘‘‘‘‘‘’‘‘‘‘‘‘‘‘‘‘” g『言··……-·-·······…···········-…--·······…-·-…······················…‘‘…’‘‘…‘‘‘‘‘‘‘‘‘‘‘‘‘‘‘‘·。·· 1范围……………………·………………………………………………’……………………‘ 2规范性引用文件………··……·………………………………………··…··………………．． 3符号和缩略语……………·……·……………………………………………·……·………．． 4方法概述…·…………………………………………··……………………………………… ⅢⅣ，，●0 5校准能量标尺的步骤…………………·……………………………………………………．． 附录A(规范性附录)用一种简单的计算方法对峰结合能作最小二乘法确定…··………… 附录B(资料性附录)不确定度的推导……………………………………·…………………· 附录c(资料性附录)对测得的结合能不确定度的引用………·……………………………· 附录D(资料性附录)用配置单色化A1x射线源的XPS谱仪测量修改型俄歇参数的方法 参考文献…………………………………………………………………………………………。‘ 0H¨M加 15472：2001 GB／T22571--2008／ISO 刖 罱 本标准等同采用ISO 为便于使用，本标准对ISO15472：2001做了下列编辑性修改： ——删除了原国际标准的前言部分} ——将本国际标准改为本标准。 附录A为规范性附录，附录B、附录C和附录D为资料性附录。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位：复旦大学应用表面物理国家重点实验室。 本标准主要起草人：丁训民、吴扬、虞玲。 Ⅲ 15472：2001 GB／T22571--2008／1SO 引 言 x射线光电子能谱(XPS)被广泛用于材料的表面分析。样品中的元