锻接热加工法制造基板铝合金托架.pdfVIP

维普资讯 。 技术与装备I i㈣；；{l i《l{；i 锻接热加工法制造基板铝合金托架 摘要 ：本文介绍了用锻接热加工法制造大型玻璃基板托架的技术要点。 具 体介绍了液晶面板铝合金托架的制造技术，阐述了锻接热加工法的工艺特 点及其可靠性。 编译 l谭祺 制造TFT液 置 即化学气相沉积装置)的情况。 (a)所示 ，它是在玻璃基板上涂敷 示屏用 图1昕示为液 品显示屏的基本构 半导体材料薄膜 (TFT)时支撑玻 们知道液晶显示屏是涂 i面板 的一系 造和玻璃基板托架的位置 。 璃基板的部件 。 敷有半导体材料薄膜的 其 中，图 l(b)为液 晶 电视 TFT玻璃基板的制造工艺是 列设备If1， 玻璃板，它广泛应用于 机 断面，后射灯的光 穿过玻璃基 先用物理气相沉积 (PVD)在玻璃 最重要的是 手机 、计算机、电视机等领域。其 板一液 晶一滤色板，将 图像 映射 基板上涂敷金属薄膜 ，再用化学 ，fjJ：TFT 中，液 晶电视机 白2001年开始进 到我们的眼睛里，从而使我们看 气相沉积 (CVD)在金属膜上涂 的设备，其 入市场销售 以来 ，由于它具有厚 到各种画面 。冈玻璃基板，卜已有 敷半导体材料薄膜，继而通过涂 度薄、省空间、高清 晰画面 的特 核心部件是 TFT，再通过电器调整液 晶，并变 敷保护膜、抛光 、显像 、电蚀 、成 点，再加上还采用 了越来越大 的 玻璃基板托 化光 的三原色 (红、兰、绿)的穿 型等过程 ，从 在 玻璃基 板上形 液 晶显示屏 ，所 以其销量明显增 架 透率而获得映像 。基板托架如 图1 成牢 崮的点状 半导体材 料薄膜。 加。目前最大液 晶电视机的尺寸 在这里 ，玻璃 基板 托架被 用在进 已经达到了108英寸，且在 久的 行化学气相沉积的过程 中，也就 薯 = 墨 三 = 薯 将来还会开发 出尺寸更大的液晶 是用于TFT成膜装置 中，如 图2 抛光 电蚀 电视机。支撑液晶显示屏迅速发 ^ 所示。在 图2(b)中，显示 了基 板 展的原因是其结构部件 的大型化， 向玻璃基板上涂膜 托架插入TFT成膜装置 的高真空 其中，液晶面板的大型化是关键 。 室 内的情况 ，在基板托架 内部配 在玻璃基板上涂敷半导体材 置有带包套 的加热棒 ，加热棒 的 料薄膜简称TFT。而制造TFT液 中心部位延伸到大气 中。在基板 晶显示屏用面板的一系列设备中， (a)基板托架和玻璃基板 (b)液 晶电视机断面 托架上载有玻璃基板，并在高温 最重要 的是用于TFT的设备 ，其 图1液晶显示屏的基本构造和玻璃基板托架 高真空下进行TFT成膜处理 。图 核心部件是玻璃基板托架。本文 2(C)为基板托架的外观。另外成 介绍 了用锻接热加工法制造大型