微结构表面超精密切削加工的关键技术.pdfVIP

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2017-09-13 发布于重庆
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微结构表面超精密切削加工的关键技术.pdf

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年月 2007 6 航空精密制造技术 Jun.2007 第卷第期 AVIATIONPRECISIONMANUFACTURINGTECHNOLOGY 43 3 Vol.43No.3 精密加工微结构表面超精密切削加工的关键技术杨元华,陈时锦,段耀凯,程凯 (哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨 ) 150001 摘要总结了微结构表面超精密切削加工技术相对于其他加工方法所不具备的关键技术,并指出了这一 [ ] 领域主要的研究方向及技术难点。关键词微结构表面;超精密切削;飞刀切削;快速伺服刀架 [ ] 中图分类号文献标识码文章编号 ( ) [ ]TG506.6 [ ]A [ ]1003-5451200703-0004-05 KeyTechniquesofUltra-precisionCuttingofMicrostructureSurface YANGYuan-hua,CHENShi-jin,DUANYao-kai,etal ( ) PrecisionEngineeringResearchInstitute,HarbinInstituteofTechnology,Harbin150001 [Abstract]Ultra-precisioncuttingofmicrostructuresurfacecanoffermanycapabilitieswhichothermethodsdonthave.Thekey techniquesofitwassummarized.Thedifficultiesanddevelopingtrendsofthisfieldwerepresented. [Keywords]microstructuredsurface;ultra-precisioncutting;flycutting;fasttoolservo 微结构表面,是指面形精度达亚微米级,表面粗无论是现代国防科学技术领域,还是普通的工业领糙度达纳米级的,具有特定功能的微小表面拓扑形域,例如光纤通信、信息处理、航空航天、生物医学、状[1] 激光 ,如图所示的微金字塔结构。微结构表面最主机械加工技术,微结构光学元件都显示出越 1 - [3,4] 要的特征是其结构的功能性,如微结构表面光学元来越重要的应用价值和广阔的应用前景。件的表面结构决定了对光线受应用需求的驱动,近几年来,国内外对微结构的反射,透射或衍射性能,便表面制造技术的研究也在不断深入,出现了多种现于光学设计者优化光学系代加工技术,如电子束写技术、激光束写技术、光刻统,减轻重量,缩小体积。另技术、蚀刻技术、沉积和影像蚀刻技术、技术、