TFT—LCD生产工厂的净化空调、冷热源的节能设计.pdfVIP

2010年第3期、4期 TFT—LGD生产工厂的净化空调、冷热源的节能设计 秦学礼 肖红梅 廖国期 王凌旭 (世源科技工程有限公司) 摘 要 本文介绍一个能耗大、投资大的平板液晶显示器生产工厂的净化空调、冷热源的节能设计，其中仅低 位热能回收利用便可得到显著的节能、经济效果，可供读者参考。 关键词 TFT-LCD工厂；净化空调；冷热源；节能 1 概述 其功能段设置一般是：新风入 口一初效过滤器一一 TFT-LCD生产工厂的建设工程是规模大、投资 级预热盘管一二级预热盘管一预冷却盘一温水淋水 大、能耗大 。以某第八代 TFT_LCD项 目为例 ： 室一除湿冷却盘管一再热盘管一风机一中效过滤器 生产能力为 90(kSheet／m)，厂区 占地面积 一 高效过滤器一新风出口，见图1。 371554m2，总建筑面积712215m ，其中洁净室 (核心生产区)面积～220000m2；总投资280亿元 (RMB)，全厂最大电力装设功率367900kVA、最 大用水量 36500m3／d、最大蒸汽耗量 105t／h。 因此在TFT_LCD工厂的工程设计和运行中应十 鱼 分重视节能措施的制订、实施。 舳一]一 一 二 2 净化空调系统的节能措施 图 1 (1)新风集中处理，新风+FFu+DC是高世 (2)MAU变频，在新风系统中，初、中、 代TFT．LCD洁净室经常采用的净化空调系统。由 高效过滤器的阻力是随系统投入运行时间变化的， 于洁净室对温、湿度参数均有要求，且洁净室内工 在新风机组设计时其风机的风压是按中效、高效过 艺设备发热负荷以及建筑围护结构传热负荷 的不稳 滤器的终阻力来确定的，过滤器的终阻力一般按初 定性，故采用将洁净室送入空气的净化与热湿处理 阻力的2倍计 。新风系统在相当长的运行时间里， 分开，洁净室的相对湿度 由新风机组保证，它通过 实际阻力将远远低于所配送风机的压头，此时如果 一 业 设在新风处理机组出口的露点温度控制除湿冷盘管 送风机没有变频调节措施，只能靠关小新风系统总 的冷冻水供水量和预热盘管的热水流量，且机组出 风管上的阀门来达到系统的送风量，当系统运行一 口的露点温度根据其对应送风区域 内实时检测的相 段时间后，由于空气过滤器容尘量的增加而阻力逐 对湿度进行连续的整定，从而确保洁净室 (区)内 渐上升，系统总送风量也会随之逐渐下降，这样为 的相对湿度；而室内干表冷器的作用主要是消除洁 了保证系统的送风量满足维持房间洁净度要求，只 净室 (区)内的显热负荷，根据洁净室 (区)内实 能定期开大新风管上的阀门，这样不仅浪费能源，也 时温度，控制对应区域的干表冷器，以确保洁净室 对运行管理带来很大不便。所以新风机应采用变频 (区)的温度，这一方面避免冷、热抵消现象，降低 调节新风量。 能源消耗。另一方面由于循环空气处理需要干冷却 新风机组一般采用初、中、高三级过滤，三级 过程，所需的冷冻水温度较高，通常高于 14iae，如 过滤器的初阻力在400Pa左右，终阻力为800Pa。 果与新风处理系统的冷冻水分开制取，制冷机组可