临界角法检焦系统的设计.pdfVIP

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2017-09-16 发布于重庆
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临界角法检焦系统的设计.pdf

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第卷第期光学精密工程１７３　Ｖｏｌ．１７Ｎｏ．３　　　　　　　　　　ＯｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ　　　　　　　年月　ｐｇｇ２００９３Ｍａｒ．２００９　　　文章编号（）１００４９２４Ｘ２００９０３０５３７０５　临界角法检焦系统的设计，１２１１郝贤鹏，任建岳，邹振书（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春；１．１３００３３２．中国科学院研究生院，北京１０００３９）摘要：利用临界角法检焦具有分辨力高、损失光能小、结构简单、系统调试容易的特点设计了亚微米级检焦系统。介绍了临界角法离焦检测的基本原理，通过合理假设，利用菲涅尔公式和高斯光学公式得到了离焦误差信号的计算公式。实验采用单光路临界角法，利用ＨｅＮｅ激光器、临界角棱镜、四象限光电探测器、信号采样电路、数据采集卡等元器件组成离焦检测系统，实现离焦信号的提取；通过数字滤波、归一化处理等技术得到离焦误差信号（），以此获得的大小和ＦＥＳＦＥＳ变化趋势与离焦量的关系曲线。实验表明，临界角法探焦系统静态分辨力＜１５ｎｍ、线性范围可达±４ｍ，满足亚微米 μ 级检焦系统的设计要求。关键词：临界角法；离焦检焦；亚微米级　　中图分类号：文献标识码：ＴＨ７０３Ａ　　犇犲狊犻狀狅犳犳狅犮狌狊犲狉狉狅狉犱犲狋犲犮狋犻狅狀狊狊狋犲犿犫犪狊犲犱狅狀犮狉犻狋犻犮犪犾犪狀犾犲犿犲狋犺狅犱犵狔犵，１２１１，，ＨＡＯＸｉａｎｅｎＲＥＮＪｉａｎｕｅＺＯＵＺｈｅｎｓｈｕｐｇｙ（，，１．犆犺犪狀犮犺狌狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犗狋犻犮狊犉犻狀犲犕犲犮犺犪狀犻犮狊犪狀犱犘犺狊犻犮狊