有哪些信誉好的足球投注网站- 1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第 22 卷 第 1 期 传 感 技 术 学 报 Vol . 22 N o . 1
2009 年 1 月 CHIN ES E J OU RNAL O F S EN SORS AND AC TUA TORS J an . 2009
Study of SnO2 Formal dehyde Gas Sensor Based on Plane Technology
Z H A N G Peng , WA N G J i ng
( )
S chool of Elect ronic an d I nf orm at ion Eng i neeri ng , D al i an Uni vers ity of Technology , D al i an L i aoni ng 116023 , Chi na
Abstract :AN SYS soft ware i s u sed to op timize t he elect ro de st ruct ure of a ga s sen sor . The ga s sen sor for
for mal dehyde mea surement wa s f abricat ed u sin g p lane t echnolo gy on 3 mm ×2 mm silicon sub st rat e . The
sen sing film s of Pddop ed SnO2 were synt he sized by solgel . The average grain size of SnO2 i s about 15
nm . The be st heating t emp erat ure wa s about 230 ℃. The sen sitivit y under diff erent ga s volume wa s mea s
ured in 230 ℃, and al so , t he re spon se and recovery time s were mea sured . The exp eriment showed t hat t he
sen sitivit y of t he sen sor increa sed wit h t he ri se of t he ga s concent ration , and t he re spon se time and t he re
covery time were bot h about 50 s.
Key words :SnO2 film s ; solgel ;p lane t echnolo gy ;ga s sen sor
EEACC :7230 ;0520 X;2560 Z
平面工艺 SnO2 薄膜甲醛气敏元件的研究
张 鹏 ,王 兢
(大连理工大学电信学院 , 辽宁 大连 116023)
摘 要 :用 AN SYS 仿真软件得到最优化的气体传感器电极结构 ,采用平面工艺在硅衬底上制作了 3 mm ×2 mm 的直热式
( )
SnO 薄膜甲醛气敏
文档评论（0）