喷雾沉积热分解法在SrTiO_3和织构的A_省略_备YBa_2Cu_3O_7_x.pdfVIP

第 27 卷 第 5 期 低 　　温 　　物 　　理 　　学 　　报 Vol . 27 , No . 5 2005 年 11 月 C H IN ESE J OU RNAL O F L OW T EM P ERA TU R E P H YSICS Nov . , 2005 喷雾沉积热分解法在 Sr TiO 和织构 3 的 Ag 基底上制备 Y Ba Cu O 2 3 7 - x 涂层超导膜 索红莉 　　赵 　跃 　　刘 　敏 　　刘丹敏 周美玲 　　Rene Flukiger 1 国家教育部功能材料重点实验室 ;北京工业大学材料学院　北京 　100022 1 日内瓦大学 　瑞士 ( ) ( ) 　　本文研究了用喷雾沉积热分解法在 110 A g 单晶、{110} 0 11 A g 带 、100 Sr TiO 三 3 种不同的基底上制备 YBa Cu O 涂层超导薄膜. 通过对溶液成份 ,载气流量 ,沉积温度 ,退 2 3 7 - x 火时间等条件的系统研究 ,我们发现上述参数与薄膜的成份 ,表面形貌 ,织构以及超导性能 有密切的关系. 在 A g 单晶基底上所获的 YBCO 薄膜具有很强的平面双轴织构 ,起始转变温 4 2 ( ) 度达到了 90 K ,J c 值超过了 10 A/ cm 77 K ,0 T ;改进试验装置后 , 以织构 A g 为基底 ,制备 出了 15cm 长的 YBCO 超导带材 ,J c 值达到了 104 A/ cm2 (77 K ,0 T) . 同时 ,我们发现温度梯 度在热分解区间内对薄膜的形成起到了重要的作用. 随后我们又在喷雾加热系统中附加一 ( ) 个金属加热圆筒 , 以改善加热区间的温度梯度 ,薄膜的性能得到了明显的提高. 在 100 Sr TiO 上的 YBa Cu O 薄膜 , ( 102) 极图的 FW HM 值达到了0 . 70°,薄膜的起始超导转变温 3 2 3 7 - x ( Δ ) 5 2 度为 9 1K Tc = 1. 5 K ,J c 值接近 10 A/ cm . 关键词 : 超导涂层 超生喷雾法 外延生长 温度梯度 PACC : 7470V ,7475 1 引　　言 对于涂层导体而言 ,如何利用廉价且易工业化的技术制备 YBa2 Cu3 O7 - x 从而获得超导 长带是人们面临必威体育精装版的挑战. 一直以来 ,喷雾热分解方法被用于制备许多工业涂层材料 ,它 较快速