压力传感器在石化行业的应用与国产化探讨.pdfVIP

2008年 第27卷 第 1期 传感器与微系统 TransducerandMicrosystemTechnologies 15 压力传感器在石化行业的应用与国产化探讨 刘 仁 ，史 创 ，王晓浩 ，唐 飞 ，张大成 1．中国石油兰州石油化工公司仪表厂。甘肃 兰州 730060； 2．清华大学精密仪器与机械学系。北京 100084； 3．北京大学 微 电子学系，北京 100871 摘 要：分析了石化行业对压力变送器的需求 ，得出石化行业对压力传感器的要求 ：测量精度、快速响应、 温度特性和静压特性、长期稳定性。微压力传感器具有许多传统压力传感器不具备的优点，能够满足石化 行业对压力传感器的要求。介绍了当前石化领域正在使用的MEMS压力传感器及其结构特点；对比国内 外厂商生产的压力传感器性能，明确了压力传感器国产化问题的关键是如何提高传感器长期稳定性问题。 关键词：压力传感器；石化行业；国产化 中图分类号：TP2l2 文献标识码：A 文章编号 ：1000-9787 2008 oi-0015-04 A‘na-lysi-sornaDD-li0canJ●0n anc1I’loca-liz‘aUJ●0n 0InDressure sensorinpetrochemicalindustry LIU Ren ，SHIChuang ，WANG Xiao．hao ，TANG Fei，ZHANG Da．cheng。 1．CNPCLPCInstruments，Lanzhou73伽椰 ，China； 2．DepartmentofPrecisionInstrumentsandMechanology，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China； 3．DepartmentofMicroelectronics．PekingUniversity，Betiing100871，China Abstract：Requirementsofpressure transmitterin petrochemicalindustry isdiscussed．High accuracy，high response，high reliability，low static errorand temperature eiTor are considered to be the mostimpo~ant performancesforpressuresensorusedinpetrochemical industry．MEMSpressuresensor，withmanyextrabenefits， ismoreadvisbaletobeappliedinpetrochemicalindustry thanconventionalpressuresensor．MEMSpressuresensor appliedinpetrochemicalindustry currentlyraeanalyzed．Pressuresensorsmadebylocal andabroadmanufactory arecompared．Itisconcludedthatimprovingreliabilityofpressuresensorisakeytoimplylocalizationofpressure sensor． Keywords：pressuresensor；petrochemical industry ；localization 0 引 言 过对比研究在石化领域使用的国内外几种典型的压力变送 压力变送器是石化行业 自动控制中使用最多的测量装 器，分析了压力传感器国产化的