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UDC
中华人民共和国国家标准
P GB XXXXX - XXXX
特种气体系统工程技术规范
Engineering technology code of special gas system
XXXX-XX-XX发布 XXXX-XX-XX 实施
中华人民共和国住房和城乡建设部
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中华人民共和国国家标准
特种气体系统工程技术规范
Engineering technology code of special gas system
GB XXXXX-XXXX
主编部门:中华人民共和国工业和信息化部
批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部
施行日期:XXXX年XX月XX日
中国计划出版社
XXXX 北 京
前 言
本规范是根据原建设部建标[2006]136号文的要求,在工业和信息化部的组织领导下,由信息产业电子第十一研究院有限公司会同有关单位共同编制完成。
在规范编制过程中,编写组根据我国特种气体系统各类站房的设计、建造和运行的实际情况,进行了大量调查研究,同时考虑我国特种气体的技术来源情况,对国外的规范进行广泛的研读,并广泛向全国有关单位或个人征求意见,最后由我部会同有关部门审查定稿。
本规范供13章和两个附录。其主要内容有:总则、术语、特种气体站房、特种气体工艺系统、硅烷站、特种气体输送、建筑结构、电气与防雷、生命安全系统、给水排水及消防、采暖通风与空气调节、特种气体工程施工、特种气体系统验收等。
本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文,必须严格执行。
本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释,工业和信息化部负责日常管理,信息产业电子第十一设计研究院有限公司《特种气体系统工程技术规范》编写组负责具体技术内容的解释。
在执行过程中有意见和建议请寄至信息产业电子第十一设计研究院有限公司(地址:四川成都市双林路251号,邮编:610021,传真:028E-mail:edri11@edri.cn),以便今后修订时参考。
本规范主编单位、参编单位、参加单位和主要起草人、主要审核人:
主编单位:信息产业电子第十一设计研究院有限公司
中国电子系统工程第二建设有限公司
参编单位:上海正帆超净技术有限公司
中国电子工程设计院
中国电子科技集团公司第五十八所
上海华虹NEC电子有限公司
参加单位:上海兄弟微电子技术有限公司
主要起草人:
主要审查人:
目 次
1 总 则 2
2 术 语 2
3.1 一般规定 2
3.2 气体站房分类 2
3.3 特种气体设备的布置 2
4 特种气体工艺系统 2
4.1 一般规定 2
4.2 特种气体输送系统 2
4.3 吹扫和排气系统 2
5 硅烷站 2
5.1 硅烷工艺系统 2
5.2 硅烷站的布置 2
5.3 安全技术措施 2
5.4 采暖通风与空气调节 2
5.5 消防系统 2
6 特种气体管道输送系统 2
6.1 一般规定 2
6.2 材料选型 2
6.3 管道设计 2
6.4 管道标签 2
7 建筑结构 2
8 电气与防雷 2
8.1 配电与照明 2
8.2 防雷与接地 2
9 生命安全系统 2
9.1 特种气体管理系统 2
9.2 特种气体泄漏探测系统 2
9.3 安全设施 2
9.4 气体报警的联动控制 2
10.1 给水排水 2
10.2 消防 2
11 采暖通风与空气调节 2
11.1 通风 2
11.2 空调 2
12 特种气体系统工程施工 2
12.1 一般规定 2
12.2 主要设备、材料进场验收 2
12.3 气瓶柜的安装 2
12.4 阀门箱与阀门盘的安装 2
12.5 特种气体管道安装 2
12.6 特种气体管道改扩建工程施工 2
12.7 特种气体系统的检验 2
12.8 尾气处理装置的安装 2
12.9 生命安全设施安装 2
13 特种气体系统验收 2
13.1 一般规定 2
13.2 设备验收 2
13.3 管路与系统验收 2
13.4 气体侦测/监控系统验收 2
附录A 电子工业用特种气体的主要物化性质(单一气体) 2
附录B 电子工业用特种气体举例 2
附录C 特种气体管道氦检漏方法 2
附录D 系统验收测试记录表 2
本规范用词说明 2
引用标准名录 2
附:条文说明 58
Content
1 General 1
2 Technical te
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