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MEMS与纳米技术课程之VI 纳米材料应用 王海容 whairong@mail.xjtu.edu.cn 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, XJTU 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术课程之VI 纳米材料 纳米材料的定义和分 类 纳米材料结构 纳米材料应用 纳米材料的特性 纳米材料制备 纳米材料应用 纳米加工 电子束曝光 纳米测量 聚焦离子束加工技术 透射电子显微镜 纳米压印 扫描电子显微镜 扫描隧道显微镜 X射线衍射分析 原子力显微镜 扫描探针显微镜 超精密加工 … … 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术课程之VI 由于纳米微粒的小尺寸效应、表面效应、量子尺寸效应和 宏观量子隧道效应等使得它们在物理和化学等方面呈现出 常规材料所不具备的特性。因此纳米颗粒材料在磁性材料、 电子材料、光学材料、高致密度材料的烧结、催化、传感、 陶瓷增韧等方面有广阔的应用前景。 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术课程之VI 应用领域 陶瓷增韧 在磁性材料方面的应用 在催化领域的应用 在光学方面的应用 在环境保护方面的作用 在生物和医学方面的应用 在精细化工方面的应用 在其他方面的应用 纳米材料的负面影响 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术课程之VI 一、陶瓷增韧 传统陶瓷材料缺点:脆，韧性、强度较差，应用受到限。 纳米陶瓷：指显微结构中的物相具有纳米级尺度的陶瓷材料。纳米 陶瓷具有像金属一样的柔韧性和可加工性，可克服陶瓷材料的脆性。 英国材料学家Cahn指出纳米陶瓷是解决陶瓷脆性的战略途径。 纳米陶瓷特点：纳米陶瓷具有较大的界面，界面的原