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清洗机原理及设备结构介绍

清洗目的及环境要求目的：基板经过切割裂片后，在玻璃表面容易残留玻璃碎屑，清洗的主要目的是在短时间内将玻璃碎屑冲掉，避免玻璃屑重新附着在基板上，造成玻璃异物，不容易去除。环境要求：①环境温度：22+2℃，相对湿度：45%+10%；②洁净等级：5000级，与相邻加工区保持微正压，与相邻检查区保持5Pa微负压。22024/5/16

清洗工艺流程WDT：预湿机CLE1：输入传送带CLE2：盘刷清洗CLE3：超声波清洗CLE4：二流体清洗1CLE5：滚刷清洗CLE6：二流体清洗2CLE7：最终喷淋CLE8：风刀干燥CLE9：输出传送带32024/5/16

WDT预湿机预湿机的作用：①对玻璃进行预湿；②对研磨后的玻璃进行抽检；③投入玻璃进行二次清洗。预湿机的结构：机架、传送滚轮、喷淋装置、护罩、水槽、升降机构。水平传送滚轮（小滚轮）：直径60mm。抽检传送滚轮（大滚轮）：直径150mm。小滚轮材质：UPE。大滚轮材质：POM。升降机构是由气缸带动机架升降，旁边有4个导向轴，上面是大滚轮。喷淋管上面7排，下面2排水管，由1#水箱供水。共有4个传感器：入口、出口、中间两侧。超高分子链聚乙烯聚甲醛42024/5/16

DWT抽检（1）水平传送部分：通过电机减速机带动大滚轮转动，水平传送与预湿机连接处设有小滚轮过渡。（2）翻转部分：通过左右端2个汽缸带动齿条直线运动来带动齿轮转动，从而带动机架翻转73°，（翻转架子上装有2个光电传感器检测玻璃），架子下部设有2个缓冲器。研磨机WDT清洗机DWT52024/5/16

预湿机及DWT抽检示意图进入传感器抽检传感器二次投入传感器大滚轮输出传感器过渡小滚轮翻转架对射光电传感器玻璃输入玻璃输出抽检玻璃输出投入62024/5/16

预湿机抽检传送流程预湿机抽检传送动作流程：玻璃通过预湿机需要抽检时，经过入口磁性传感器传送带开始减速，当玻璃经过中间一侧的磁性传感器时，传送滚轮停止，同时气缸带动机架上升20mm停止，垂直传送滚轮开始运行，此传感器检测到玻璃离开后，机架开始下降，回到原位，水平传送带又开始水平输送玻璃。72024/5/16

输入传送带（CLE1）（1）传送带设有定位装置，两侧各1个汽缸定位玻璃。（2）滚轮的材质是尼龙，挡边轮材质是UPE。（3）设有2组滚刷，上下各2排，滚刷转动方向与玻璃前进方向相反。（4）传送带出口处设有1组海绵滚筒，抹干玻璃上的水份。（5）喷淋用的是6#水箱的水，水经10μm过滤器进行过滤。工作原理：玻璃进入输送传送带，上下各7排喷淋系统对玻璃进行初始清洗，三菱的变频电机驱动轴上的斜齿轮组来带动传送带，当磁性传感器检查到玻璃通过时，两侧的汽缸驱动定位块对玻璃定位，来矫正玻璃的位置。82024/5/16

输入传送带结构示意图其结构示意图如下：磁性传感器Substrate92024/5/16

盘刷清洗（CLE2）设备结构：盘刷区共有4组盘刷，盘刷的间距和转速都可以调节。盘刷区还有喷淋装置，喷淋装置上的喷嘴方向可以调节，上有压力表和调节阀门，还有观测流量计。盘刷清洗水需加入清洗剂，由2，3#水箱（一用一备）提供，由于加入了清洗剂废水不能被其他区域利用，只能自身循环利用，且水需要加热到40~45℃。清洗剂：PK-LCG211，水的PH值为12~14。102024/5/16

盘刷清洗刷毛：Φ=0.1mm，尼龙材质。上下盘刷：交叉1~2mm。升降调节方式：锥齿轮+螺旋升降+前后同步。驱动方式：交流变频电机（滚轮驱动），盘刷轴驱动为直流电机。盘刷：直径85mm。转速：200～300r/min（可调）。112024/5/16

盘刷传送带示意图盘刷盘刷盘刷122024/5/16

盘刷清洗水箱示意图（CLE3）高液位传感器低液位传感器浓度测量仪温度传感器加热管取样管132024/5/16

超声波清洗（CLE4）超声波介绍：（1）有7个振板，每个振板共有16个振子,每个振子功率50W。（2）超声波发生的频率为40-90KHZ。频率、功率可调。（3）水箱有两个一用一备（4#、5#水箱）。（4）水箱有加热装置、浓度、温度传感器。（5）水箱中有4个浮球式传感器检测液位。

（6）强碱性清洗剂，PH值12-14。（7）1个清洗剂箱。注：玻璃是浸泡在水中进行传送和清洗的。142024/5/16

超声波传送带示意图由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质—清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的直径为50μm-500μm的微小气泡，这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生长，而在正压区迅速闭合，在这种被称之为空穴作用的过程中，气泡