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内部使用
使用说明书
服务手册
多功能生产系统
NPM
型号 NM-EJM9B
本服务手册是以维修技术人员为对象编写的
资料。
N720SA006C03
NPM
服务手册
EN1SCC-02-020-F0
目录
1. 关于本书的使用方法 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1-1
1.1. 关于本书的使用方法 1.1-1
1.1.1 机密管理 1.1-1
1.1.2 本书的使用方法 1.1-1
1.1.3 管理编号 1.1-1
1.1.4 正文中的表示方法 1.1-3
2. 安装 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 2-1
2.1. 安装 2.1-1
2.1.1 安装确认检查 2.1-1
2.2. 空气压力的设定 2.2-1
2.2.1 主空气压力的调整 2.2-1
2.2.2 真空破坏压力调整 2.2-3
3. 准备器材 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 3-1
3.1. 专用治具工具一览 3.1-1
3.2. 市售治具和工具一览表 3.2-1
4. 维护指南 (机械) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 4-1
4.1. 调整基准值 4.1-1
4.2. 搬送传送带和基板支架 (单轨传送带) 4.2-1
4.2.1 搬送导轨宽度调整 4.2-1
4.2.2 搬送轨道的高度和平面度 4.2-2
4.2.3 搬送轨道的宽度和平行度 4.2-4
4.2.4 搬送部电机的交换 4.2-6
4.2.5 基板检测传感器的设定 4.2-7
4.2.6 基板支架装置的拆卸和安装 4.2-9
4.2.7 支撑电机和滚珠丝杠的交换 4.2-12
4.2.8 支撑板的高度和平面度 4.2-15
4.3. XY 轴驱动关系 4.3-1
4.3.1 线性刻度的调整 4.3-1
4.3.2 XY 原点调整 4.3-3
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