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激光调阻机光学系统设计 宋云夺 田兴志 刘轩 （中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春 130033） 提要 激光调阻机是用于片式电阻阻值微调的一种关键设备，由光学系统、阻值实时测量系 统、精密机械系统、自动上下料系统、计算机控制系统等构成。调阻精度可达 1％。在激光 调阻机中，光学系统是非常重要的组成部分，它影响着激光光束质量、调阻的速度和精度。 本位介绍了一种光学系统设计方案，论述了各个组成部分的构成和设计要求。通过实际的工 作验证，此设计方案合理、实用。 关键词 光学系统 激光调阻 Design for optical system of laser resistor trimming machine SOGN Yun-Duo TIAN Xing-Zhi LIU Xuan (Changchun Institute of Optics，Fine Mechanics and Physics ，Chinese Academy of Science， Changchun 130033 ，China) Abstract: Laser resistor trimming machine is a key equipment used to micro-adjusting the value of resistor. It consists of optical system, real-time measuring system for the value of chip resistor, fine mechanical system, resistor substrate automatically loading/unloading system and computer control system. The trimming precision can get up to 1%,and the trimming speed can get up to 300-400 thousand unit per hour. Optical system is a vital part in laser resistor trimming machine. It determines the quality of laser beam and the trimming quality and speed. This paper presents a design of optical system and discusses the structure and demand of every part. The design is proved reasonable and applied through the practical work. Key words: optical system, laser trimming 1.概述 片式电阻是通过在陶瓷基板上印刷电阻浆料经 随着微电子技术的发展，片式电阻正在取代普通 烘干烧结而成的，由于印刷工序中电阻膜横截面积精 电阻被广泛地使用。片式电阻具有体积小、易于自动 度控制的不确定性，导致印刷之后一批电阻单元阻值 化贴装、生产成本低等优点。在片式电阻生产线中， 的离散性较大，需经激光调阻使之达到一定阻值精度 进行电阻微调之前，电阻的制造误差一般为±15～20 才能使用。 ％，然而在实际使用中，往往希望电阻误差为±1％， 根据电阻器阻值的计算公式，导体的阻值： 甚至更低。这就需要对电