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A New Type of High Bandwidth RF MEMS Switch - Toggle Switch英语.PDF
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE, VOL.2, NO. 4, DECEMBER, 2002 237
A New Type of High Bandwidth RF MEMS Switch -
Toggle Switch
Bernd Schauwecker, Karl M. Strohm, Winfried Simon, Jan Mehner, and Johann-Friedrich Luy
Abstract −A new type of RF MEMS switch for low compared to semiconductor devices [3-6]. First,
voltage actuation, high broadband application and significant reduction in insertion loss, which results in
high power capability is presented. Mechanical and higher figure of merit. Second, they consume
electromagnetic simulations of this new RF MEMS insignificant amount of power during operation which
switch type are shown and the fabrication process results in higher efficiency. Third, they exhibit higher
and measurement results are given. The switching linearity and as a result lower signal distortion when
element consists of a cantilever which is fixed by a compared to semiconductor devices.
suspension spring to the ground of the coplanar line. However, the implementation of RF-MEMS switches
The closing voltage is 16V. The switches exhibit low does not come with impunity. The following
insertion loss (0.85dB@30GHz) with good isolation disadvantages have to be taken into consideration: higher
(22dB@30GHz). actuation voltages (20 - 50 volts), lower switching speed
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