E8机台115钢线项目试验报告(第二阶段)_精品.doc

试验报告 试验名称 115钢线项目试验 试验对象 E8、E9切片机台 试验目的 增加出片率，降低单片硅片制造成本。 试验步骤（第一阶段） 由切片二部从仓库领取直径115um贝卡尔特钢线，使用前分别在E8、E9机台上安装好0.345mm、0.348mm槽距的导轮，同时选择1200#碳化硅； 工艺设置如下：E8、E9机台砂浆循环方式如下：100%旧砂100%旧液，单刀抽全部打450KG； 本次试验采用32工艺切割，试验晶棒长度定在920-950mm； 由研发技术部技术员跟踪每刀距1F尾部15-20mm左右处的硅片和1F位中间位置的硅片，查看是否存在线痕，拍照记录，进行归档； 每卷钢线使用完毕，由研发技术部技术员取每个工字轮的废钢线样品，交由贝卡尔特工程师钱培君，由其负责测量椭圆度、磨损率，记录并收集数据； 由品管安排IPQC跟踪本次试验，如有异常须及时通知研发技术部当班技术员； 最后由研发技术部对本次试验得出结论。 补充说明：本次为115项目第三次试验（项目RD号：020），期间涉及到的物 料可以由切片二部安排好物料员单独开单领取。 试验分析 1、本阶段只在E9上进行了切割，具体数据如下： 切割编号 A品率 装载长度(mm) 台速(mm/min) 线速(m/s) 液 砂 抽打量 E9-110717-2-1 92.09% 908 0.32 13 和荣100% 佳明100% 全抽+440kg E9-110718-1-2 94.21% 924 0.32 13 和荣100% 佳明100% 全抽+440kg E9-110718-2-3 94.91% 887 0.32 13 和荣100% 佳明100% 全抽+440kg E9-110719-1-4 44.75% 911 0.32 13 佳明100% 佳明100% 全抽+440kg E9-110719-2-5 74.62% 901 0.32 13 佳明100% 佳明100% 全抽+440kg E9-110720-1-6 68.24% 923 0.32 13 奥克100% 佳明100% 全抽+440kg E9-110720-2-7 0.00% 905 0.32 13 奥克：佳明=5:5 佳明100% 全抽+440kg 备注：E9从第4刀开始A品率急剧下滑，原因主要——BA品标准的出现，导致一些轻微 崩边和轻微线痕不能判为A品，以BA品出货。 考虑到BA品标准的导入，大大影响着E9的A品率，在此将E9 与其他机台做如下对比： BA品标准实行前 日期 砂浆 使用机台 理论片数 A品数 A品率 崩边率 线痕率 硅落率 TTV率 脱胶破片率 隐裂率 断线率 7.11~7.17 100% 回收砂 E1-E10（从15号开始增加E11-E13） 392766 351457 89.49% 1.51% 1.90% 1.01% 1.07% 0.96% 0.24% 4.67% 7.17~7.18 100% 回收砂 E9 7843 7353 93.75% 1.96% 0.66% 0.84% 0.09% 0.54% 0.23% 0.00% BA品标准实行后（7.19~7.20） 砂浆 使用机台 理论片数 A品数 A品率 崩边率 线痕率 硅落率 TTV率 脱胶破片率 隐裂率 断线率 BA崩边率 BA线痕率 100% 回收砂 E1-E10（从15号开始增加E11-E13） 112848 98065 86.90% 1.86% 1.36% 0.97% 0.61% 1.19% 0.28% 1.66% 3.03% 1.42% 100% 回收砂 E9 10468 4921 47.01% 1.90% 4.38% 1.10% 0.13% 1.31% 0.32% 25.00% 7.30% 31.52% 100% 回收砂 E9 7867 4921